显示/光电/玻璃行业-平板清洗线

▍应用领域
 

本平板清洗线主要应用于显示、光电及精密玻璃制造领域，作为光刻工艺产线中的重要清洗单元，适用于基板在显影前后及相关制程环节的清洗处理，可与涂胶、曝光、显影等设备形成完整的光刻工艺产线，典型应用包括：

1.显示行业

TFT-LCD 显示面板制程

Mini-LED / Micro-LED 显示相关玻璃基板

触控面板、盖板玻璃（Cover Glass）

2.光电行业

光学玻璃、功能性玻璃基板

光学镀膜及图形转移相关制程

传感器及光电器件用玻璃基板

3.精密玻璃及功能基板

小尺寸及中尺寸平板玻璃

光刻工艺相关精密基板

▍特性规格

1.DI Water + 化学清洗液复合工艺

结合去离子水（DI Water）与化学清洗液

有效去除有机污染、无机残留及微颗粒

2.毛刷清洗结构

配置高洁净毛刷，对基板表面进行温和刷洗

有效提升颗粒去除能力，降低表面残留

3.多段式清洗流程

可配置化学清洗段、毛刷清洗段、DI 水冲洗段

支持多级清洗与漂洗，满足不同工艺需求

4.良好的工艺兼容性

适用于多种玻璃及功能性基板

满足显影前后不同清洗应用场景。