▍应用领域
本平板清洗线主要应用于PCB、DPC载板、精密电子器件及精密金属基板制造领域,作为光刻工艺产线中的关键清洗单元,适用于基板在显影前后及相关制程环节的清洗处理,实现显影后残留清除与表面状态稳定,可与涂胶、曝光、显影等设备形成完整的光刻工艺产线。典型应用包括:
1.PCB / DPC载板行业
多层及高密度PCB / DPC载板制程清洗
表面图形转移前后的基板洁净处理
2.精密电子器件行业
射频器件、传感器及高精度电子组件基板清洗
显影后残留物去除及表面状态优化
3.精密金属基板行业
功能性金属基板、导电层及复合材料基板清洗
保证后续电镀、镀膜及图形转移工艺良率。
▍特性规格
1.显影前后清洗
去除化学显影残留、微颗粒及其他污染物
为后续蚀刻、镀膜及装配工艺提供洁净基板
2.提升产线良率与一致性
与显影机协同工作,稳定图形转移效果
减少表面缺陷,提高制程一致性
3.产线化、自动化运行支持
平板清洗线设计满足产线节拍化需求
与上下游设备无缝衔接,减少人工干预
提升整体产线效率与稳定性。
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