桌上型半自动旋转涂布机

▍应用领域
 

MSC-300T-D桌上型半自动旋转涂布机（Spin Coater）用于对均匀性和一致性要求较高的表面涂布工艺，将光刻胶溶液自动涂覆在硅片、光栅、石英玻璃、掩模版等基片上形成薄膜，主要应用于8、12寸晶圆以及异性样品。

▍特性规格

1.针筒式滴胶方式更适合科研和小批量生产，不用清洗管道；

2.整机用料扎实、1500W进口伺服电机、适合更大更重样品；

3.吸盘平整度精细加工平磨，均匀性好，可达2%以内；

4.电气独立集成机身侧面，避免因腔体漏液到设备内部导致短路风险；

5.配置光刻胶过滤器，清洗保养方便，避免堵胶带来飞片风险；

6.真空负压数值显示和低真空报警，避免因负压不足带来飞片风险。